A síntese de nitreto de silício foi relatada pela primeira vez em 1857 por Henri Edouard Saint-Clair Deville e Friedrich Wöhler. Em sua síntese, um cadinho com silício foi colocado em um cadinho cheio de carbono e aquecido para reduzir a penetração de oxigênio. Eles relataram um produto que chamavam de nitreto de silício, mas não conseguiram determinar sua composição química.
Em 1879, Paul Schützenberger obteve o produto aquecendo o silício misturado com um material de revestimento (uma pasta que pode ser usada como um revestimento de cadinho obtido por mistura de carvão, briquetes de carvão ou coca -cola com argila) em um forno e relatou como um composto com SI3N4. Em 1910, Ludwig Weiss e Theodor Engelhardt produziram Si3N4 por aquecimento do silício elementar em nitrogênio puro. Em 1925, Friedrich e Sittig sintetizaram nitreto de silício por aquecimento de dióxido de silício e carbono em uma atmosfera de nitrogênio para 1250-1300 grau usando redução térmica de carbono.
