Henry Edin St. Clair Deville e Friedrich Wöhler relataram pela primeira vez a síntese de nitreto de silício em 1857. No método de síntese que relataram, um cadinho contendo silício foi enterrado em um cadinho cheio de carbono e aquecido para reduzir a infiltração de oxigênio. Eles relataram um produto que chamavam de nitreto de silício, mas não conseguiram descobrir sua composição química. Em 1879, Paul Schuetzenberger misturou silício com forro (uma pasta que pode ser usada como forro cadinho, obtido misturando carvão, carvão ou coque com argila) e aqueceu em uma explosão e o relatou como um composto com a composição do SI3N4. Em 1910, Ludwig Weiss e Theodor Engelhardt aqueceram o silício em nitrogênio puro para obter Si3N4. Em 1925, Friederich e Sittig usaram redução carbotérmica para aquecer dióxido de silício e carbono para 1250-1300} em uma atmosfera de nitrogênio para sintetizar nitreto de silício.
O nitreto de silício não foi levado a sério e estudado por décadas até surgir aplicações comerciais de nitreto de silício. De 1948 a 1952, a Companhia de Diamantes de Acheson, perto de Niagara Falls, Nova York, registrou várias patentes para a fabricação e uso de nitreto de silício. Em 1958, o nitreto de silício produzido por carboneto de união foi usado para fazer tubos de termopar, bicos de foguetes e cadinhos para a fusão de metais. A pesquisa sobre nitreto de silício no Reino Unido começou em 1953 com o objetivo de fazer peças de alta temperatura para turbinas a gás. Isso levou ao desenvolvimento de nitreto de silício ligado e nitreto de silício pressionado a quente. Em 1971, a Agência de Projetos de Pesquisa Avançada de Defesa do Departamento de Defesa dos EUA assinou um contrato de US $ 17 milhões com a Ford e Westinghouse para desenvolver duas turbinas a gás cerâmicas.
Embora as propriedades do nitreto de silício sejam conhecidas há muito tempo, o nitreto de silício (cerca de 2 × 5 µm de tamanho) que existe naturalmente na Terra não foi descoberto até os anos 90 nos meteoritos. Esse tipo de minério de nitreto de silício encontrado na natureza é nomeado "Nierite" em homenagem a Alfred Otto Carl Nier, pioneiro na pesquisa de espectrometria de massa. No entanto, há evidências de que esse tipo de minério de nitreto de silício pode ter sido encontrado em meteoritos no Azerbaijão, a antiga União Soviética, anteriormente. Os meteoritos contendo minerais de nitreto de silício também foram encontrados na província de Guizhou, China. Além de existir em meteoritos na Terra, o nitreto de silício também é distribuído em poeira cósmica no espaço sideral.
